1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorОсипов А. Н.
dc.coverage.spatialквазимонокристаллические тонкопленочные системы
dc.coverage.spatialискусственная эпитаксия
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемы
dc.coverage.spatialметод искусственной эпитаксии
dc.coverage.spatialэпитаксиальные процессы
dc.coverage.spatialструктура пленок
dc.coverage.spatialформирование тонкопленочных систем
dc.creatorОсипов А. Н.
dc.date2005
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:19Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:19Z-
dc.date.issued2005
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\487989
dc.identifier.citationОсипов, А. Н. Процесс формирования квазимонокристаллических тонкопленочных систем методом искусственной эпитаксии / А. Н. Осипов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 160-172.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6866-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный
dc.subjectквазимонокристаллические тонкопленочные системы
dc.subjectискусственная эпитаксия
dc.subjectинтегральные микросхемы
dc.subjectметод искусственной эпитаксии
dc.subjectэпитаксиальные процессы
dc.subjectструктура пленок
dc.subjectформирование тонкопленочных систем
dc.titleПроцесс формирования квазимонокристаллических тонкопленочных систем методом искусственной эпитаксии
dc.typeText
dc.citation.epage172
dc.citation.spage160
local.contributor.authorОсипов А. Н.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Process-formirovaniya-kvazimonokristallicheskih-tonkoplenochnyh-sistem-metodom-iskusstvennoi-epitaksii-99452
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Process-formirovaniya-kvazimonokristallicheskih-tonkoplenochnyh-sistem-metodom-iskusstvennoi-epitaksii-99452
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-160-172.pdf884.36 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.