Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС

Костюк Г. Ф.; Ерендеев Ю. П.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Title:	Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС
Authors:	Костюк Г. Ф. Ерендеев Ю. П.
Keywords:	диэлектрические пленки двуокиси алюминия защита элементов СВЧ ГИС защитные пленки метод реактивного ВЧ-магнетронного напыления металлизированные структуры СВЧ ГИС реактивное ВЧ-магнетронное напыление СВЧ ГИС
Issue Date:	2005
Citation:	Костюк, Г. Ф. Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС / Г. Ф. Костюк, Ю. П. Ерендеев // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 133-134.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6857
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:

File	Size	Format
Стр.-133-134.pdf	99.16 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record