Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Костюк Г. Ф. | |
| dc.contributor.author | Ерендеев Ю. П. | |
| dc.coverage.spatial | диэлектрические пленки двуокиси алюминия | |
| dc.coverage.spatial | защита элементов СВЧ ГИС | |
| dc.coverage.spatial | защитные пленки | |
| dc.coverage.spatial | метод реактивного ВЧ-магнетронного напыления | |
| dc.coverage.spatial | металлизированные структуры СВЧ ГИС | |
| dc.coverage.spatial | реактивное ВЧ-магнетронное напыление | |
| dc.coverage.spatial | СВЧ ГИС | |
| dc.creator | Костюк Г. Ф., Ерендеев Ю. П. | |
| dc.date | 2005 | |
| dc.date.accessioned | 2025-08-22T12:09:18Z | - |
| dc.date.available | 2025-08-22T12:09:18Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.identifier.identifier | RU\НТБ СГАУ\487906 | |
| dc.identifier.citation | Костюк, Г. Ф. Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС / Г. Ф. Костюк, Ю. П. Ерендеев // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 133-134. | |
| dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6857 | - |
| dc.language | rus | |
| dc.source | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный | |
| dc.subject | диэлектрические пленки двуокиси алюминия | |
| dc.subject | защита элементов СВЧ ГИС | |
| dc.subject | защитные пленки | |
| dc.subject | метод реактивного ВЧ-магнетронного напыления | |
| dc.subject | металлизированные структуры СВЧ ГИС | |
| dc.subject | реактивное ВЧ-магнетронное напыление | |
| dc.subject | СВЧ ГИС | |
| dc.title | Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС | |
| dc.type | Text | |
| dc.citation.epage | 134 | |
| dc.citation.spage | 133 | |
| local.contributor.author | Костюк Г. Ф. | |
| local.contributor.author | Ерендеев Ю. П. | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-i-ispolzovanie-dielektricheskih-plenok-dvuokisi-aluminiya-Al2O3-metodom-reaktivnogo-VCh-magnetronnogo-napyleniya-dlya-zashity-elementov-SVCh-GIS-99438 | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-i-ispolzovanie-dielektricheskih-plenok-dvuokisi-aluminiya-Al2O3-metodom-reaktivnogo-VCh-magnetronnogo-napyleniya-dlya-zashity-elementov-SVCh-GIS-99438 | |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций | |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-133-134.pdf | 99.16 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.