| Title: | Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров |
| Authors: | Карасева Т. В. |
| Keywords: | анизотропный характер химического травления интегральные датчики конструктивно-механические параметры чувствительных элементов микромеханические чувствительные элементы элементы интегральных акселерометров |
| Issue Date: | 2005 |
| Citation: | Карасева, Т. В. Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров / Т. В. Карасева // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 69-71. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6844 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-69-71.pdf | 152.19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.