Title: Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров
Authors: Карасева Т. В.
Keywords: анизотропный характер химического травления
интегральные датчики
конструктивно-механические параметры чувствительных элементов
микромеханические чувствительные элементы
элементы интегральных акселерометров
Issue Date: 2005
Citation: Карасева, Т. В. Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров / Т. В. Карасева // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 69-71.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6844
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-69-71.pdf152.19 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.