Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Карасева Т. В. | |
| dc.coverage.spatial | анизотропный характер химического травления | |
| dc.coverage.spatial | интегральные датчики | |
| dc.coverage.spatial | конструктивно-механические параметры чувствительных элементов | |
| dc.coverage.spatial | микромеханические чувствительные элементы | |
| dc.coverage.spatial | элементы интегральных акселерометров | |
| dc.creator | Карасева Т. В. | |
| dc.date | 2005 | |
| dc.date.accessioned | 2025-08-22T12:09:16Z | - |
| dc.date.available | 2025-08-22T12:09:16Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.identifier.identifier | RU\НТБ СГАУ\487693 | |
| dc.identifier.citation | Карасева, Т. В. Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров / Т. В. Карасева // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 69-71. | |
| dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6844 | - |
| dc.language | rus | |
| dc.source | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный | |
| dc.subject | анизотропный характер химического травления | |
| dc.subject | интегральные датчики | |
| dc.subject | конструктивно-механические параметры чувствительных элементов | |
| dc.subject | микромеханические чувствительные элементы | |
| dc.subject | элементы интегральных акселерометров | |
| dc.title | Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров | |
| dc.type | Text | |
| dc.citation.epage | 71 | |
| dc.citation.spage | 69 | |
| local.contributor.author | Карасева Т. В. | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-konstruktivnomehanicheskih-parametrov-chuvstvitelnyh-elementov-integralnyh-akselerometrov-99418 | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-konstruktivnomehanicheskih-parametrov-chuvstvitelnyh-elementov-integralnyh-akselerometrov-99418 | |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций | |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-69-71.pdf | 152.19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.