Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКарасева Т. В.
dc.coverage.spatialанизотропный характер химического травления
dc.coverage.spatialинтегральные датчики
dc.coverage.spatialконструктивно-механические параметры чувствительных элементов
dc.coverage.spatialмикромеханические чувствительные элементы
dc.coverage.spatialэлементы интегральных акселерометров
dc.creatorКарасева Т. В.
dc.date2005
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:16Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:16Z-
dc.date.issued2005
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\487693
dc.identifier.citationКарасева, Т. В. Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров / Т. В. Карасева // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 69-71.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6844-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный
dc.subjectанизотропный характер химического травления
dc.subjectинтегральные датчики
dc.subjectконструктивно-механические параметры чувствительных элементов
dc.subjectмикромеханические чувствительные элементы
dc.subjectэлементы интегральных акселерометров
dc.titleИсследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров
dc.typeText
dc.citation.epage71
dc.citation.spage69
local.contributor.authorКарасева Т. В.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-konstruktivnomehanicheskih-parametrov-chuvstvitelnyh-elementov-integralnyh-akselerometrov-99418
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-konstruktivnomehanicheskih-parametrov-chuvstvitelnyh-elementov-integralnyh-akselerometrov-99418
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-69-71.pdf152.19 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.