| Title: | Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии |
| Authors: | Марковская Н. В. |
| Keywords: | гироскопические приборы метод фотолитографии фоторезисты рисунки на сферических поверхностях роторы гироскопических приборов процесс метода фотолитографии |
| Issue Date: | 2005 |
| Citation: | Марковская, Н. В. Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии / Н. В. Марковская // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 75-77. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6834 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-75-77.pdf | 130.9 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.