Title: Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии
Authors: Марковская Н. В.
Keywords: гироскопические приборы
метод фотолитографии
фоторезисты
рисунки на сферических поверхностях
роторы гироскопических приборов
процесс метода фотолитографии
Issue Date: 2005
Citation: Марковская, Н. В. Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии / Н. В. Марковская // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 75-77.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6834
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-75-77.pdf130.9 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.