Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии

Марковская Н. В.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Марковская Н. В.
dc.coverage.spatial	гироскопические приборы
dc.coverage.spatial	метод фотолитографии
dc.coverage.spatial	фоторезисты
dc.coverage.spatial	рисунки на сферических поверхностях
dc.coverage.spatial	роторы гироскопических приборов
dc.coverage.spatial	процесс метода фотолитографии
dc.creator	Марковская Н. В.
dc.date	2005
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:09:15Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:09:15Z	-
dc.date.issued	2005
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\487818
dc.identifier.citation	Марковская, Н. В. Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии / Н. В. Марковская // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 75-77.
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6834	-
dc.language	rus
dc.source	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный
dc.subject	гироскопические приборы
dc.subject	метод фотолитографии
dc.subject	фоторезисты
dc.subject	рисунки на сферических поверхностях
dc.subject	роторы гироскопических приборов
dc.subject	процесс метода фотолитографии
dc.title	Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии
dc.type	Text
dc.citation.epage	77
dc.citation.spage	75
local.contributor.author	Марковская Н. В.
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Formirovanie-precizionnogo-risunka-na-rotorah-giroskopicheskih-priborov-metodom-fotolitografii-99421
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Formirovanie-precizionnogo-risunka-na-rotorah-giroskopicheskih-priborov-metodom-fotolitografii-99421
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:

File	Size	Format
Стр.-75-77.pdf	130.9 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record