Title: Модель процесса химического осаждения тонких пленок из газовой фазы для электронных приборов
Authors: Каратунов Ю. В.
Коледов Л. А.
Keywords: анализ неоднородности толщины пленки
неоднородность толщины пленки
модели процесса химического осаждения
тонкие пленки
химическое осаждение из газовой фазы
химическое осаждение тонких пленок
реакторы химического осаждения
Issue Date: 2005
Citation: Каратунов, Ю. В. Модель процесса химического осаждения тонких пленок из газовой фазы для электронных приборов / Ю. В. Каратунов, Л. А. Коледов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 67-68.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6830
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-67-68.pdf164.27 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.