| Title: | Модель процесса химического осаждения тонких пленок из газовой фазы для электронных приборов |
| Authors: | Каратунов Ю. В. Коледов Л. А. |
| Keywords: | анализ неоднородности толщины пленки неоднородность толщины пленки модели процесса химического осаждения тонкие пленки химическое осаждение из газовой фазы химическое осаждение тонких пленок реакторы химического осаждения |
| Issue Date: | 2005 |
| Citation: | Каратунов, Ю. В. Модель процесса химического осаждения тонких пленок из газовой фазы для электронных приборов / Ю. В. Каратунов, Л. А. Коледов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 67-68. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6830 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-67-68.pdf | 164.27 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.