Модель процесса химического осаждения тонких пленок из газовой фазы для электронных приборов

Каратунов Ю. В.; Коледов Л. А.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Каратунов Ю. В.
dc.contributor.author	Коледов Л. А.
dc.coverage.spatial	анализ неоднородности толщины пленки
dc.coverage.spatial	неоднородность толщины пленки
dc.coverage.spatial	модели процесса химического осаждения
dc.coverage.spatial	тонкие пленки
dc.coverage.spatial	химическое осаждение из газовой фазы
dc.coverage.spatial	химическое осаждение тонких пленок
dc.coverage.spatial	реакторы химического осаждения
dc.creator	Каратунов Ю. В., Коледов Л. А.
dc.date	2005
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:09:15Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:09:15Z	-
dc.date.issued	2005
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\487691
dc.identifier.citation	Каратунов, Ю. В. Модель процесса химического осаждения тонких пленок из газовой фазы для электронных приборов / Ю. В. Каратунов, Л. А. Коледов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 67-68.
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6830	-
dc.language	rus
dc.source	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный
dc.subject	анализ неоднородности толщины пленки
dc.subject	неоднородность толщины пленки
dc.subject	модели процесса химического осаждения
dc.subject	тонкие пленки
dc.subject	химическое осаждение из газовой фазы
dc.subject	химическое осаждение тонких пленок
dc.subject	реакторы химического осаждения
dc.title	Модель процесса химического осаждения тонких пленок из газовой фазы для электронных приборов
dc.type	Text
dc.citation.epage	68
dc.citation.spage	67
local.contributor.author	Каратунов Ю. В.
local.contributor.author	Коледов Л. А.
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Model-processa-himicheskogo-osazhdeniya-tonkih-plenok-iz-gazovoi-fazy-dlya-elektronnyh-priborov-99416
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Model-processa-himicheskogo-osazhdeniya-tonkih-plenok-iz-gazovoi-fazy-dlya-elektronnyh-priborov-99416
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:

File	Size	Format
Стр.-67-68.pdf	164.27 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record