1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Моделирование процессов электрохимического травления пористого кремния
Authors: Жигаев Д. А.
Шишкина Д. А.
Шишкин И. А.
Keywords: электрохимическое травление
уравнение Нернста-Планка
пористый кремний
математическое моделирование
моделирование электрического поля
COMSOL Multiphysics
Issue Date: 2022
Citation: Жигаев, Д. А. Моделирование процессов электрохимического травления пористого кремния / Д. А. Жигаев, Д. А. Шишкина, И. А. Шишкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 149-150.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6789
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903-943-17-3_2022-149-150.pdf198.29 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.