1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЖигаев Д. А.
dc.contributor.authorШишкина Д. А.
dc.contributor.authorШишкин И. А.
dc.coverage.spatialэлектрохимическое травление
dc.coverage.spatialуравнение Нернста-Планка
dc.coverage.spatialпористый кремний
dc.coverage.spatialматематическое моделирование
dc.coverage.spatialмоделирование электрического поля
dc.coverage.spatialCOMSOL Multiphysics
dc.creatorЖигаев Д. А., Шишкина Д. А., Шишкин И. А.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:10Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:10Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\481478
dc.identifier.citationЖигаев, Д. А. Моделирование процессов электрохимического травления пористого кремния / Д. А. Жигаев, Д. А. Шишкина, И. А. Шишкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 149-150.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6789-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. - Текст : электронный
dc.subjectэлектрохимическое травление
dc.subjectуравнение Нернста-Планка
dc.subjectпористый кремний
dc.subjectматематическое моделирование
dc.subjectмоделирование электрического поля
dc.subjectCOMSOL Multiphysics
dc.titleМоделирование процессов электрохимического травления пористого кремния
dc.typeText
dc.citation.epage150
dc.citation.spage149
local.contributor.authorЖигаев Д. А.
local.contributor.authorШишкина Д. А.
local.contributor.authorШишкин И. А.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processov-elektrohimicheskogo-travleniya-poristogo-kremniya-97458
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processov-elektrohimicheskogo-travleniya-poristogo-kremniya-97458
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903-943-17-3_2022-149-150.pdf198.29 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.