1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Обзор современных методов и средств плазменного травления микроэлектронных структур
Authors: Кутурин В. А.
Ханенко Ю. В.
Keywords: фотостимулированные процессы
радикальное травление
плазменное травление
плазмохимическое нанесение пленок
реактивно-ионно-плазменное травление
ионно-лучевое травление
ионно-плазменное осаждение пленок
микроэлектронные структуры
низкотемпературная плазма
Issue Date: 2022
Citation: Кутурин, В. А. Обзор современных методов и средств плазменного травления микроэлектронных структур / В. А. Кутурин, Ю. В. Ханенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 96-98.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6774
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903-943-17-3_2022-96-98.pdf253.47 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.