Обзор современных методов и средств плазменного травления микроэлектронных структур

Кутурин В. А.; Ханенко Ю. В.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Кутурин В. А.
dc.contributor.author	Ханенко Ю. В.
dc.coverage.spatial	фотостимулированные процессы
dc.coverage.spatial	радикальное травление
dc.coverage.spatial	плазменное травление
dc.coverage.spatial	плазмохимическое нанесение пленок
dc.coverage.spatial	реактивно-ионно-плазменное травление
dc.coverage.spatial	ионно-лучевое травление
dc.coverage.spatial	ионно-плазменное осаждение пленок
dc.coverage.spatial	микроэлектронные структуры
dc.coverage.spatial	низкотемпературная плазма
dc.creator	Кутурин В. А., Ханенко Ю. В.
dc.date	2022
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:09:46Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:09:46Z	-
dc.date.issued	2022
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\481341
dc.identifier.citation	Кутурин, В. А. Обзор современных методов и средств плазменного травления микроэлектронных структур / В. А. Кутурин, Ю. В. Ханенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 96-98.
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6774	-
dc.language	rus
dc.source	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. - Текст : электронный
dc.subject	фотостимулированные процессы
dc.subject	радикальное травление
dc.subject	плазменное травление
dc.subject	плазмохимическое нанесение пленок
dc.subject	реактивно-ионно-плазменное травление
dc.subject	ионно-лучевое травление
dc.subject	ионно-плазменное осаждение пленок
dc.subject	микроэлектронные структуры
dc.subject	низкотемпературная плазма
dc.title	Обзор современных методов и средств плазменного травления микроэлектронных структур
dc.type	Text
dc.citation.epage	98
dc.citation.spage	96
local.contributor.author	Кутурин В. А.
local.contributor.author	Ханенко Ю. В.
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Obzor-sovremennyh-metodov-i-sredstv-plazmennogo-travleniya-mikroelektronnyh-struktur-97432
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Obzor-sovremennyh-metodov-i-sredstv-plazmennogo-travleniya-mikroelektronnyh-struktur-97432
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:

File	Size	Format
978-5-903-943-17-3_2022-96-98.pdf	253.47 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record