1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Получение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыления
Authors: Ширина В. А.
Советкина М. А.
Фомченков С. А.
Keywords: технологические установки
тонкопленочные резисторы
тонкие пленки
распыление мишени
пленочные резистивные материалы
ионная бомбардировка
магнитное поле
магнетронные распылительные системы
метод магнетронного распыления
Issue Date: 2022
Citation: Ширина, В. А. Получение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыления / В. А. Ширина, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 80-81.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6756
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903-943-17-3_2022-80-81.pdf343.98 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.