1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШирина В. А.
dc.contributor.authorСоветкина М. А.
dc.contributor.authorФомченков С. А.
dc.coverage.spatialтехнологические установки
dc.coverage.spatialтонкопленочные резисторы
dc.coverage.spatialтонкие пленки
dc.coverage.spatialраспыление мишени
dc.coverage.spatialпленочные резистивные материалы
dc.coverage.spatialионная бомбардировка
dc.coverage.spatialмагнитное поле
dc.coverage.spatialмагнетронные распылительные системы
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыления
dc.creatorШирина В. А., Советкина М. А., Фомченков С. А.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:44Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:44Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\481313
dc.identifier.citationШирина, В. А. Получение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыления / В. А. Ширина, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 80-81.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6756-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. - Текст : электронный
dc.subjectтехнологические установки
dc.subjectтонкопленочные резисторы
dc.subjectтонкие пленки
dc.subjectраспыление мишени
dc.subjectпленочные резистивные материалы
dc.subjectионная бомбардировка
dc.subjectмагнитное поле
dc.subjectмагнетронные распылительные системы
dc.subjectметод магнетронного распыления
dc.titleПолучение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыления
dc.typeText
dc.citation.epage81
dc.citation.spage80
local.contributor.authorШирина В. А.
local.contributor.authorСоветкина М. А.
local.contributor.authorФомченков С. А.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-rezistivnyh-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97422
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-rezistivnyh-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97422
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903-943-17-3_2022-80-81.pdf343.98 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.