| Title: | Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы |
| Authors: | Федотов Ф. С. |
| Keywords: | создание лабораторного стенда планарные магнетроны программа FEMM магнетронные распылительные системы магнитное поле магнитные ловушки метод магнетронного распыления моделирование нанесение покрытий нанесение тонких пленок |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Федотов, Ф. С. Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы / Ф. С. Федотов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 90-91. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6746 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-903-943-17-3_2022-90-91.pdf | 177.48 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.