Title: Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы
Authors: Федотов Ф. С.
Keywords: создание лабораторного стенда
планарные магнетроны
программа FEMM
магнетронные распылительные системы
магнитное поле
магнитные ловушки
метод магнетронного распыления
моделирование
нанесение покрытий
нанесение тонких пленок
Issue Date: 2022
Citation: Федотов, Ф. С. Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы / Ф. С. Федотов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 90-91.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6746
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903-943-17-3_2022-90-91.pdf177.48 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.