1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorФедотов Ф. С.
dc.coverage.spatialсоздание лабораторного стенда
dc.coverage.spatialпланарные магнетроны
dc.coverage.spatialпрограмма FEMM
dc.coverage.spatialмагнетронные распылительные системы
dc.coverage.spatialмагнитное поле
dc.coverage.spatialмагнитные ловушки
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыления
dc.coverage.spatialмоделирование
dc.coverage.spatialнанесение покрытий
dc.coverage.spatialнанесение тонких пленок
dc.creatorФедотов Ф. С.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:44Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:44Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\481330
dc.identifier.citationФедотов, Ф. С. Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы / Ф. С. Федотов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 90-91.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6746-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. - Текст : электронный
dc.subjectсоздание лабораторного стенда
dc.subjectпланарные магнетроны
dc.subjectпрограмма FEMM
dc.subjectмагнетронные распылительные системы
dc.subjectмагнитное поле
dc.subjectмагнитные ловушки
dc.subjectметод магнетронного распыления
dc.subjectмоделирование
dc.subjectнанесение покрытий
dc.subjectнанесение тонких пленок
dc.titleПодбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы
dc.typeText
dc.citation.epage91
dc.citation.spage90
local.contributor.authorФедотов Ф. С.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Podbor-magnitnoi-lovushki-dlya-magnetronnoi-raspylitelnoi-sistemy-97428
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Podbor-magnitnoi-lovushki-dlya-magnetronnoi-raspylitelnoi-sistemy-97428
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903-943-17-3_2022-90-91.pdf177.48 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.