1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Получение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыления
Authors: Жидецкий Н. Д.
Советкина М. А.
Фомченков С. А.
Keywords: тонкие проводящие пленки
технологические установки
ионная бомбардировка
магнитное поле
метод магнетронного распыления
Issue Date: 2022
Citation: Жидецкий, Н. Д. Получение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыления / Н. Д. Жидецкий, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 76-78.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6742
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903-943-17-3_2022-76-78.pdf202.36 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.