1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЖидецкий Н. Д.
dc.contributor.authorСоветкина М. А.
dc.contributor.authorФомченков С. А.
dc.coverage.spatialтонкие проводящие пленки
dc.coverage.spatialтехнологические установки
dc.coverage.spatialионная бомбардировка
dc.coverage.spatialмагнитное поле
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыления
dc.creatorЖидецкий Н. Д., Советкина М. А., Фомченков С. А.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:43Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:43Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\481296
dc.identifier.citationЖидецкий, Н. Д. Получение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыления / Н. Д. Жидецкий, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 76-78.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6742-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. - Текст : электронный
dc.subjectтонкие проводящие пленки
dc.subjectтехнологические установки
dc.subjectионная бомбардировка
dc.subjectмагнитное поле
dc.subjectметод магнетронного распыления
dc.titleПолучение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыления
dc.typeText
dc.citation.epage78
dc.citation.spage76
local.contributor.authorЖидецкий Н. Д.
local.contributor.authorСоветкина М. А.
local.contributor.authorФомченков С. А.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-provodyashih-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97420
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-provodyashih-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97420
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903-943-17-3_2022-76-78.pdf202.36 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.