Title: Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения
Authors: Остапенко Н. А.
Keywords: атомы
глубокие уровни (ГУ)
ионно-лучевая обработка (ИЛО)
исследования
моделирование процесса
металл-кремний
кремний
электронно-энергетическое строение (ЭЭС)
хром
силициды
Issue Date: 2004
Citation: Остапенко, Н. А. Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения. - Текст : электронный / Н. А. Остапенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 31 мая - 4 июня 2004 г. - Текст : электронный / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - 2004. - С. 56-57
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6690
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-56-57.pdf123.94 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.