| Title: | Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения |
| Authors: | Остапенко Н. А. |
| Keywords: | атомы глубокие уровни (ГУ) ионно-лучевая обработка (ИЛО) исследования моделирование процесса металл-кремний кремний электронно-энергетическое строение (ЭЭС) хром силициды |
| Issue Date: | 2004 |
| Citation: | Остапенко, Н. А. Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения. - Текст : электронный / Н. А. Остапенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 31 мая - 4 июня 2004 г. - Текст : электронный / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - 2004. - С. 56-57 |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6690 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-56-57.pdf | 123.94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.