1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorОстапенко Н. А.
dc.coverage.spatialатомы
dc.coverage.spatialглубокие уровни (ГУ)
dc.coverage.spatialионно-лучевая обработка (ИЛО)
dc.coverage.spatialисследования
dc.coverage.spatialмоделирование процесса
dc.coverage.spatialметалл-кремний
dc.coverage.spatialкремний
dc.coverage.spatialэлектронно-энергетическое строение (ЭЭС)
dc.coverage.spatialхром
dc.coverage.spatialсилициды
dc.creatorОстапенко Н. А.
dc.date2004
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:38Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:38Z-
dc.date.issued2004
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\469549
dc.identifier.citationОстапенко, Н. А. Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения. - Текст : электронный / Н. А. Остапенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 31 мая - 4 июня 2004 г. - Текст : электронный / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - 2004. - С. 56-57
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6690-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 31 мая - 4 июня 2004 г. - Текст : электронный
dc.subjectатомы
dc.subjectглубокие уровни (ГУ)
dc.subjectионно-лучевая обработка (ИЛО)
dc.subjectисследования
dc.subjectмоделирование процесса
dc.subjectметалл-кремний
dc.subjectкремний
dc.subjectэлектронно-энергетическое строение (ЭЭС)
dc.subjectхром
dc.subjectсилициды
dc.titleМоделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения
dc.typeText
dc.citation.epage57
dc.citation.spage56
local.contributor.authorОстапенко Н. А.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processa-ionnoluchevoi-obrabotki-ctruktury-metallkremnii-i-ee-elektronnogo-energeticheskogo-stroeniya-92576
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processa-ionnoluchevoi-obrabotki-ctruktury-metallkremnii-i-ee-elektronnogo-energeticheskogo-stroeniya-92576
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-56-57.pdf123.94 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.