| Title: | Анализ влияния технологических погрешностей на оптические характеристики субволновых антиотражающих структур терагерцового диапазона |
| Authors: | Ермаков С. С. |
| Keywords: | antireflection structures ICP-RIE optical characteristics optimization of relief geometry statistical modeling subwavelength microrelief technological errors terahertz optics антиотражающие структуры оптимизация геометрии рельефа оптические характеристики расчет спектров пропускания реактивно-ионное травление с индуктивно-связанной плазмой статистически-аналитический метод статистическое моделирование субволновый микрорельеф терагерцовая оптика технологические погрешности фемтосекундное лазерное микроструктурирование |
| Issue Date: | 2026 |
| Citation: | Ермаков, С. С. Анализ влияния технологических погрешностей на оптические характеристики субволновых антиотражающих структур терагерцового диапазона = Analysis of technological errors impact on optical characteristics of subwavelength antireflective terahertz structures / С. С. Ермаков // Volga Cyber Week : материалы Всерос. II молодеж. науч.-практ. конф. по информатике и кибернетике (Самара, 12-15 мая 2026 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред. А. В. Куприянова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2026. - С. 110-113. |
| Abstract: | Предложен метод оценки влияния технологических погрешностей на оптические характеристики субволновых антиотражающих структур. Расчет спектров пропускания выполнен на основе теории эффективных сред и метода матриц переноса. Погрешности учтены статистическим моделированием и аппроксимацией профиля. Показано изменение пропускания при учете технологических ошибок. Метод предназначен для проектирования антиотражающих структур пассивных элементов высокомощной терагерцовой промышленной оптики. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/64031 |
| ISBN: | |
| ISSN: | |
| ISMN: | |
| Other Identifiers: | RU\НТБ СГАУ\589862 |
| Appears in Collections: | VOLGA CYBER WEEK |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| file-110-113.pdf | 1.13 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.