Title: Анализ влияния технологических погрешностей на оптические характеристики субволновых антиотражающих структур терагерцового диапазона
Authors: Ермаков С. С.
Keywords: antireflection structures
ICP-RIE
optical characteristics
optimization of relief geometry
statistical modeling
subwavelength microrelief
technological errors
terahertz optics
антиотражающие структуры
оптимизация геометрии рельефа
оптические характеристики
расчет спектров пропускания
реактивно-ионное травление с индуктивно-связанной плазмой
статистически-аналитический метод
статистическое моделирование
субволновый микрорельеф
терагерцовая оптика
технологические погрешности
фемтосекундное лазерное микроструктурирование
Issue Date: 2026
Citation: Ермаков, С. С. Анализ влияния технологических погрешностей на оптические характеристики субволновых антиотражающих структур терагерцового диапазона = Analysis of technological errors impact on optical characteristics of subwavelength antireflective terahertz structures / С. С. Ермаков // Volga Cyber Week : материалы Всерос. II молодеж. науч.-практ. конф. по информатике и кибернетике (Самара, 12-15 мая 2026 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред. А. В. Куприянова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2026. - С. 110-113.
Abstract: Предложен метод оценки влияния технологических погрешностей на оптические характеристики субволновых антиотражающих структур. Расчет спектров пропускания выполнен на основе теории эффективных сред и метода матриц переноса. Погрешности учтены статистическим моделированием и аппроксимацией профиля. Показано изменение пропускания при учете технологических ошибок. Метод предназначен для проектирования антиотражающих структур пассивных элементов высокомощной терагерцовой промышленной оптики.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/64031
ISBN: 
ISSN: 
ISMN: 
Other Identifiers: RU\НТБ СГАУ\589862
Appears in Collections:VOLGA CYBER WEEK

Files in This Item:
File SizeFormat 
file-110-113.pdf1.13 MBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.