1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Институт информатики и кибернетики
  4. VOLGA CYBER WEEK
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЕрмаков С. С.ru
dc.date.accessioned2026-10-27T05:28:52Z-
dc.date.available2026-10-27T05:28:52Z-
dc.date.issued2026ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\589862ru
dc.identifier.citationЕрмаков, С. С. Анализ влияния технологических погрешностей на оптические характеристики субволновых антиотражающих структур терагерцового диапазона = Analysis of technological errors impact on optical characteristics of subwavelength antireflective terahertz structures / С. С. Ермаков // Volga Cyber Week : материалы Всерос. II молодеж. науч.-практ. конф. по информатике и кибернетике (Самара, 12-15 мая 2026 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред. А. В. Куприянова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2026. - С. 110-113.ru
dc.identifier.isbnru
dc.identifier.issnru
dc.identifier.ismnru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/64031-
dc.identifier.npsru
dc.identifier.orcidru
dc.description.abstractПредложен метод оценки влияния технологических погрешностей на оптические характеристики субволновых антиотражающих структур. Расчет спектров пропускания выполнен на основе теории эффективных сред и метода матриц переноса. Погрешности учтены статистическим моделированием и аппроксимацией профиля. Показано изменение пропускания при учете технологических ошибок. Метод предназначен для проектирования антиотражающих структур пассивных элементов высокомощной терагерцовой промышленной оптики.ru
dc.description.firstpage110ru
dc.description.lastpage113ru
dc.format.mimetypeTextru
dc.language.isorusru
dc.sourceVolga Cyber Week : материалы Всерос. II молодеж. науч.-практ. конф. по информатике и кибернетике (Самара, 12-15 мая 2026 г.). - Текст : электронныйru
dc.textpart-
dc.subjectantireflection structuresru
dc.subjectICP-RIEru
dc.subjectoptical characteristicsru
dc.subjectoptimization of relief geometryru
dc.subjectstatistical modelingru
dc.subjectsubwavelength microreliefru
dc.subjecttechnological errorsru
dc.subjectterahertz opticsru
dc.subjectантиотражающие структурыru
dc.subjectоптимизация геометрии рельефаru
dc.subjectоптические характеристикиru
dc.subjectрасчет спектров пропусканияru
dc.subjectреактивно-ионное травление с индуктивно-связанной плазмойru
dc.subjectстатистически-аналитический методru
dc.subjectстатистическое моделированиеru
dc.subjectсубволновый микрорельефru
dc.subjectтерагерцовая оптикаru
dc.subjectтехнологические погрешностиru
dc.subjectфемтосекундное лазерное микроструктурированиеru
dc.titleАнализ влияния технологических погрешностей на оптические характеристики субволновых антиотражающих структур терагерцового диапазонаru
dc.typeTextru
Appears in Collections:VOLGA CYBER WEEK

Files in This Item:
File SizeFormat 
file-110-113.pdf1.13 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.