| Title: | Исследование влияния отрицательных частиц, формируемых в плазме ВГР, на параметры скрайбирования пластин кремния |
| Authors: | Колпаков В. А. Кричевский С. В. Яхин И. Р. |
| Keywords: | высоковольтный газовый разряд монокристаллический кремний параметры скрайбирования плазменные потоки полупроводниковые пластины результаты моделирования сетчатый анод |
| Issue Date: | 2026 |
| Citation: | Яхин, И. Р. Исследование влияния отрицательных частиц, формируемых в плазме ВГР, на параметры скрайбирования пластин кремния / И. Р. Яхин, С. В. Кричевский, В. А. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 21-24 апр. 2026 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2026. - С. 106-108. |
| ISBN: | |
| ISSN: | |
| ISMN: | |
| Other Identifiers: | RU\НТБ СГАУ\585794 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-903943-23-4_2026-106-108.pdf | 218.47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.