1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.contributor.authorКричевский С. В.ru
dc.contributor.authorЯхин И. Р.ru
dc.date.issued2026ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\585794ru
dc.identifier.citationЯхин, И. Р. Исследование влияния отрицательных частиц, формируемых в плазме ВГР, на параметры скрайбирования пластин кремния / И. Р. Яхин, С. В. Кричевский, В. А. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 21-24 апр. 2026 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2026. - С. 106-108.ru
dc.identifier.isbnru
dc.identifier.issnru
dc.identifier.ismnru
dc.identifier.npsru
dc.identifier.orcidru
dc.description.firstpage106ru
dc.description.lastpage108ru
dc.format.mimetypeTextru
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 21-24 апр. 2026 г.). - Текст : электронныйru
dc.textpart-
dc.subjectвысоковольтный газовый разрядru
dc.subjectмонокристаллический кремнийru
dc.subjectпараметры скрайбированияru
dc.subjectплазменные потокиru
dc.subjectполупроводниковые пластиныru
dc.subjectрезультаты моделированияru
dc.subjectсетчатый анодru
dc.titleИсследование влияния отрицательных частиц, формируемых в плазме ВГР, на параметры скрайбирования пластин кремнияru
dc.typeTextru
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903943-23-4_2026-106-108.pdf218.47 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.