Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния

Ондырбаев Н. Н.; Колпаков В. А.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Title:	Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния
Authors:	Ондырбаев Н. Н. Колпаков В. А.
Keywords:	интегральные схемы диоксид кремния дифракционная оптика газоразрядное устройство травление скорость травления низкотемпературная плазма микроэлектроника
Issue Date:	2018
Citation:	Ондырбаев, Н. Н. Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния / Н. Н. Ондырбаев, В. А. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.) / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - 2018. - С. 120-122. - ISBN = 978-5-473-01191-3
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6168
ISBN:	978-5-473-01191-3
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
120-122.pdf	Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния	188.15 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record