Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния

Ондырбаев Н. Н.; Колпаков В. А.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Ондырбаев Н. Н.
dc.contributor.author	Колпаков В. А.
dc.coverage.spatial	интегральные схемы
dc.coverage.spatial	диоксид кремния
dc.coverage.spatial	дифракционная оптика
dc.coverage.spatial	газоразрядное устройство
dc.coverage.spatial	травление
dc.coverage.spatial	скорость травления
dc.coverage.spatial	низкотемпературная плазма
dc.coverage.spatial	микроэлектроника
dc.creator	Ондырбаев Н. Н., Колпаков В. А.
dc.date	2018
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:09:29Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:09:29Z	-
dc.date.issued	2018
dc.identifier.identifier	Dspace\SGAU\20180608\70147
dc.identifier.citation	Ондырбаев, Н. Н. Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния / Н. Н. Ондырбаев, В. А. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.) / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - 2018. - С. 120-122. - ISBN = 978-5-473-01191-3
dc.identifier.isbn	978-5-473-01191-3
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6168	-
dc.language	rus
dc.source	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.)
dc.subject	интегральные схемы
dc.subject	диоксид кремния
dc.subject	дифракционная оптика
dc.subject	газоразрядное устройство
dc.subject	травление
dc.subject	скорость травления
dc.subject	низкотемпературная плазма
dc.subject	микроэлектроника
dc.subject.udc	533.915
dc.subject.udc	621.794.4
dc.title	Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния
dc.type	Text
dc.citation.epage	122
dc.citation.spage	120
local.contributor.author	Ондырбаев Н. Н.
local.contributor.author	Колпаков В. А.
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-mehanizmov-travleniya-chasticami-nizkotemperaturnoi-plazmy-dioksida-kremniya-70147
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
120-122.pdf	Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния	188.15 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record