Title: Диэлектрические и пассивирующие свойства тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках
Authors: Потешкина Е. А.
Шалимова М. Б.
Keywords: МДП-структуры
методика измерения
приборы
техника
тонкопленочные оксиды
эксперимент
Issue Date: 2025
Citation: Потешкина, Е. А. Диэлектрические и пассивирующие свойства тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата), направленность (профиль) "Физика" / Е. А. Потешкина ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т естеств. и мат. наук, Физ. фак., Каф. физ. - Самара, 2025. - 1 файл (2,5 Мб). - Текст : электронный
Abstract: Целью данной работы является изучение диэлектрических и пассивирующих свойств тонкопленочных оксидов элементов на кремниевых подложках. В качестве оксидов РЗЭ использовались оксиды гадолиния и эрбия. Для этого были поставлены следующие задачи: 1) Проанализировать научную литературу по теме ВКР;2) Провести измерение вольт-ёмкостных характеристик МДП- структур с соединениями РЗЭ; 3) Рассчитать и оценить эффективный заряд тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках; 4) Проанализировать графики распределения плотности поверхностных состояний по энергиям в запрещённой зоне кремния.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/61666
ISBN: 
ISSN: 
ISMN: 
Other Identifiers: RU\НТБ СГАУ\ВКР20250924162324
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.