| Title: | Диэлектрические и пассивирующие свойства тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках |
| Authors: | Потешкина Е. А. Шалимова М. Б. |
| Keywords: | МДП-структуры методика измерения приборы техника тонкопленочные оксиды эксперимент |
| Issue Date: | 2025 |
| Citation: | Потешкина, Е. А. Диэлектрические и пассивирующие свойства тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата), направленность (профиль) "Физика" / Е. А. Потешкина ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т естеств. и мат. наук, Физ. фак., Каф. физ. - Самара, 2025. - 1 файл (2,5 Мб). - Текст : электронный |
| Abstract: | Целью данной работы является изучение диэлектрических и пассивирующих свойств тонкопленочных оксидов элементов на кремниевых подложках. В качестве оксидов РЗЭ использовались оксиды гадолиния и эрбия. Для этого были поставлены следующие задачи: 1) Проанализировать научную литературу по теме ВКР;2) Провести измерение вольт-ёмкостных характеристик МДП- структур с соединениями РЗЭ; 3) Рассчитать и оценить эффективный заряд тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках; 4) Проанализировать графики распределения плотности поверхностных состояний по энергиям в запрещённой зоне кремния. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/61666 |
| ISBN: | |
| ISSN: | |
| ISMN: | |
| Other Identifiers: | RU\НТБ СГАУ\ВКР20250924162324 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Потешкина_Екатерина_Алексеевна_Диэлектрические_пассивирующие_свойства.pdf | 2.57 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.