Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorШалимова М. Б.ru
dc.contributor.authorПотешкина Е. А.ru
dc.date.accessioned2026-04-22T09:55:45Z-
dc.date.available2026-04-22T09:55:45Z-
dc.date.issued2025ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20250924162324ru
dc.identifier.citationПотешкина, Е. А. Диэлектрические и пассивирующие свойства тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата), направленность (профиль) "Физика" / Е. А. Потешкина ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т естеств. и мат. наук, Физ. фак., Каф. физ. - Самара, 2025. - 1 файл (2,5 Мб). - Текст : электронныйru
dc.identifier.isbnru
dc.identifier.issnru
dc.identifier.ismnru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/61666-
dc.identifier.npsru
dc.identifier.orcidru
dc.description.abstractЦелью данной работы является изучение диэлектрических и пассивирующих свойств тонкопленочных оксидов элементов на кремниевых подложках. В качестве оксидов РЗЭ использовались оксиды гадолиния и эрбия. Для этого были поставлены следующие задачи: 1) Проанализировать научную литературу по теме ВКР;2) Провести измерение вольт-ёмкостных характеристик МДП- структур с соединениями РЗЭ; 3) Рассчитать и оценить эффективный заряд тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках; 4) Проанализировать графики распределения плотности поверхностных состояний по энергиям в запрещённой зоне кремния.ru
dc.format.mimetypeTextru
dc.textpart-
dc.subjectМДП-структурыru
dc.subjectметодика измеренияru
dc.subjectприборыru
dc.subjectтехникаru
dc.subjectтонкопленочные оксидыru
dc.subjectэкспериментru
dc.subject.rugasnti29.29ru
dc.subject.udc539.1ru
dc.titleДиэлектрические и пассивирующие свойства тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложкахru
dc.typeTextru
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.