Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Шалимова М. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Потешкина Е. А. | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-04-22T09:55:45Z | - |
| dc.date.available | 2026-04-22T09:55:45Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | ru |
| dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20250924162324 | ru |
| dc.identifier.citation | Потешкина, Е. А. Диэлектрические и пассивирующие свойства тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата), направленность (профиль) "Физика" / Е. А. Потешкина ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т естеств. и мат. наук, Физ. фак., Каф. физ. - Самара, 2025. - 1 файл (2,5 Мб). - Текст : электронный | ru |
| dc.identifier.isbn | ru | |
| dc.identifier.issn | ru | |
| dc.identifier.ismn | ru | |
| dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/61666 | - |
| dc.identifier.nps | ru | |
| dc.identifier.orcid | ru | |
| dc.description.abstract | Целью данной работы является изучение диэлектрических и пассивирующих свойств тонкопленочных оксидов элементов на кремниевых подложках. В качестве оксидов РЗЭ использовались оксиды гадолиния и эрбия. Для этого были поставлены следующие задачи: 1) Проанализировать научную литературу по теме ВКР;2) Провести измерение вольт-ёмкостных характеристик МДП- структур с соединениями РЗЭ; 3) Рассчитать и оценить эффективный заряд тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках; 4) Проанализировать графики распределения плотности поверхностных состояний по энергиям в запрещённой зоне кремния. | ru |
| dc.format.mimetype | Text | ru |
| dc.textpart | - | |
| dc.subject | МДП-структуры | ru |
| dc.subject | методика измерения | ru |
| dc.subject | приборы | ru |
| dc.subject | техника | ru |
| dc.subject | тонкопленочные оксиды | ru |
| dc.subject | эксперимент | ru |
| dc.subject.rugasnti | 29.29 | ru |
| dc.subject.udc | 539.1 | ru |
| dc.title | Диэлектрические и пассивирующие свойства тонкопленочных оксидов РЗЭ на кремниевых подложках | ru |
| dc.type | Text | ru |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы | |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Потешкина_Екатерина_Алексеевна_Диэлектрические_пассивирующие_свойства.pdf | 2.57 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.