Title: Моделирование процесса роста тонких проводящих пленок
Authors: Архипов А. В.
Keywords: микроэлектронные изделия
микроструктура пленки
тонкие проводящие пленки
рост проводящих пленок
локальное изменение энергии связи
интегральная оптика
компьютерное моделирование
Issue Date: 2018
Citation: Пантелей, Е. Моделирование процесса роста тонких проводящих пленок / Е. Пантелей, А. В. Архипов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.) / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - 2018. - С. 181-182. - ISBN = 978-5-473-01191-3
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6149
ISBN: 978-5-473-01191-3
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
181-182.pdfМоделирование процесса роста тонких проводящих пленок181.56 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.