Моделирование процесса роста тонких проводящих пленок

Архипов А. В.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Архипов А. В.
dc.coverage.spatial	микроэлектронные изделия
dc.coverage.spatial	микроструктура пленки
dc.coverage.spatial	тонкие проводящие пленки
dc.coverage.spatial	рост проводящих пленок
dc.coverage.spatial	локальное изменение энергии связи
dc.coverage.spatial	интегральная оптика
dc.coverage.spatial	компьютерное моделирование
dc.creator	Пантелей Е., Архипов А. В.
dc.date	2018
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:09:27Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:09:27Z	-
dc.date.issued	2018
dc.identifier.identifier	Dspace\SGAU\20180610\70184
dc.identifier.citation	Пантелей, Е. Моделирование процесса роста тонких проводящих пленок / Е. Пантелей, А. В. Архипов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.) / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - 2018. - С. 181-182. - ISBN = 978-5-473-01191-3
dc.identifier.isbn	978-5-473-01191-3
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6149	-
dc.language	rus
dc.source	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всероc. науч.-техн. конф. (г. Самара, 15-17 мая 2018 г.)
dc.subject	микроэлектронные изделия
dc.subject	микроструктура пленки
dc.subject	тонкие проводящие пленки
dc.subject	рост проводящих пленок
dc.subject	локальное изменение энергии связи
dc.subject	интегральная оптика
dc.subject	компьютерное моделирование
dc.subject.udc	539.233
dc.title	Моделирование процесса роста тонких проводящих пленок
dc.type	Text
dc.citation.epage	182
dc.citation.spage	181
local.contributor.author	Пантелей Е.
local.contributor.author	Архипов А. В.
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processa-rosta-tonkih-provodyashih-plenok-70184
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
181-182.pdf	Моделирование процесса роста тонких проводящих пленок	181.56 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record