Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Сканирующая зондовая литография перспективных материалов для диэлектрической нанофотоники |
| Other Titles: | |
| Authors: | Алексеев П. А. Бородин Б. Р. Гасникова К. А. Попов М. Е. |
| Keywords: | дихалькогениды переходных металлов диэлектрическая нанофотоника сканирующая зондовая литография |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Publisher |
| Citation: | Сканирующая зондовая литография перспективных материалов для диэлектрической нанофотоники / П. А. Алексеев, М. Е. Попов, К. А. Гасникова, Б. Р. Бородин // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2025) : материалы XI междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самарканд, Узбекистан, 7-9 окт. 2025 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - С. 013042. |
| Abstract: | Разработана универсальная технология литографии исоздания узлов фотонных схем из перспективныхматериалов диэлектрической нанофотоники. Технологияоснована на методе силовой сканирующей зондовойлитографии и позволяет создавать узлы с латеральнымразрешением ~100 нм. Продемонстрированы планарные волноводы и дисковые микрорезонаторы из различных перспективных материалов: дихалькогениды переходных металлов, гексагональный нитрид бора, галогенидные перовскиты. |
| ISBN: | |
| ISSN: | |
| ISMN: | |
| Other Identifiers: | RU\НТБ СГАУ\582160 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-7883-2262-9_2025-123-124.pdf | 98.02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.