1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Информационные технологии и нанотехнологии
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАлексеев П. А.ru
dc.contributor.authorБородин Б. Р.ru
dc.contributor.authorГасникова К. А.ru
dc.contributor.authorПопов М. Е.ru
dc.date.accessioned2026-01-23T11:29:00Z-
dc.date.available2026-01-23T11:29:00Z-
dc.date.issued2025-
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\582160ru
dc.identifier.citationСканирующая зондовая литография перспективных материалов для диэлектрической нанофотоники / П. А. Алексеев, М. Е. Попов, К. А. Гасникова, Б. Р. Бородин // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2025) : материалы XI междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самарканд, Узбекистан, 7-9 окт. 2025 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - С. 013042.ru
dc.identifier.isbnru
dc.identifier.issnru
dc.identifier.ismnru
dc.identifier.npsru
dc.identifier.orcidru
dc.description.abstractРазработана универсальная технология литографии исоздания узлов фотонных схем из перспективныхматериалов диэлектрической нанофотоники. Технологияоснована на методе силовой сканирующей зондовойлитографии и позволяет создавать узлы с латеральнымразрешением ~100 нм. Продемонстрированы планарные волноводы и дисковые микрорезонаторы из различных перспективных материалов: дихалькогениды переходных металлов, гексагональный нитрид бора, галогенидные перовскиты.ru
dc.description.firstpage013042ru
dc.format.extentru
dc.format.mimetypeTextru
dc.language.isorusru
dc.publisherPublisherru
dc.rightsLicenseru
dc.sourceSourceru
dc.textpart-
dc.subjectдихалькогениды переходных металловru
dc.subjectдиэлектрическая нанофотоникаru
dc.subjectсканирующая зондовая литографияru
dc.subject.rubbkru
dc.subject.rugasntiru
dc.subject.udcru
dc.titleСканирующая зондовая литография перспективных материалов для диэлектрической нанофотоникиru
dc.title.alternativeru
dc.typeType Textru
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-2262-9_2025-123-124.pdf98.02 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.