Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Анализ дефектов кремниевых пластин с применением цифровой голографической интерферометрии |
| Other Titles: | |
| Authors: | Азаматов З. Т. Бахромов А. Б. Сапаева А. А. |
| Keywords: | дефектоскопия интерферометрия кремниевые пластины неразрушающий контроль цифровая голография |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Publisher |
| Citation: | Азаматов, З. Т. Анализ дефектов кремниевых пластин с применением цифровой голографической интерферометрии / З. Т. Азаматов, А. Б. Бахромов, А. А. Сапаева // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2025) : материалы XI междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самарканд, Узбекистан, 7-9 окт. 2025 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - С. 012432. |
| Abstract: | В данной работе представлены тезисыисследования, посвященного применению цифровойголографической интерферометрии для идентификации ианализа дефектов кремниевых пластин. Рассматриваютсяфизические принципы метода, его применение вмикроэлектронике и возможности повышения точностидиагностики. Приведены экспериментальные результатыи обсуждаются перспективы развития данной технологии. |
| ISBN: | |
| ISSN: | |
| ISMN: | |
| Other Identifiers: | RU\НТБ СГАУ\582082 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-7883-2262-9_2025-97-98.pdf | 104.83 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.