1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Информационные технологии и нанотехнологии
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАзаматов З. Т.ru
dc.contributor.authorБахромов А. Б.ru
dc.contributor.authorСапаева А. А.ru
dc.date.accessioned2026-01-23T11:29:00Z-
dc.date.available2026-01-23T11:29:00Z-
dc.date.issued2025-
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\582082ru
dc.identifier.citationАзаматов, З. Т. Анализ дефектов кремниевых пластин с применением цифровой голографической интерферометрии / З. Т. Азаматов, А. Б. Бахромов, А. А. Сапаева // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2025) : материалы XI междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самарканд, Узбекистан, 7-9 окт. 2025 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - С. 012432.ru
dc.identifier.isbnru
dc.identifier.issnru
dc.identifier.ismnru
dc.identifier.npsru
dc.identifier.orcidru
dc.description.abstractВ данной работе представлены тезисыисследования, посвященного применению цифровойголографической интерферометрии для идентификации ианализа дефектов кремниевых пластин. Рассматриваютсяфизические принципы метода, его применение вмикроэлектронике и возможности повышения точностидиагностики. Приведены экспериментальные результатыи обсуждаются перспективы развития данной технологии.ru
dc.description.firstpage012432ru
dc.format.extentru
dc.format.mimetypeTextru
dc.language.isorusru
dc.publisherPublisherru
dc.rightsLicenseru
dc.sourceSourceru
dc.textpart-
dc.subjectдефектоскопияru
dc.subjectинтерферометрияru
dc.subjectкремниевые пластиныru
dc.subjectнеразрушающий контрольru
dc.subjectцифровая голографияru
dc.subject.rubbkru
dc.subject.rugasntiru
dc.subject.udcru
dc.titleАнализ дефектов кремниевых пластин с применением цифровой голографической интерферометрииru
dc.title.alternativeru
dc.typeType Textru
Appears in Collections:Информационные технологии и нанотехнологии

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-2262-9_2025-97-98.pdf104.83 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.