1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Title: Молекулярно-динамическое моделирование круговых монокристаллических пластин на кремниевой подложке
Other Titles: 
Authors: Мушанкова К. А.
Степанова Л. В.
Keywords: 
MEMS-устройства
кремниевые подложки
математические модели
микроэлектроника
молекулярная динамика
молекулярно-динамическое моделирование
монокристаллические пластины
ориентация кристаллографических осей
оценка краевых эффектов
Issue Date: 2025
Publisher: Publisher
Citation: Мушанкова, К. А. Молекулярно-динамическое моделирование круговых монокристаллических пластин на кремниевой подложке / К. А. Мушанкова, Л. В. Степанова // XVIII Королевские чтения : материалы всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 80-й годовщине Победы в Великой Отеч. войне, 7–9 окт. 2025 г.: в 2 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; орг. ком.: Д. Е. Пашков (предс.), О. А. Кузин, А. Г. Безверхов [и др.]. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - Т. 1. - С. 315.
Abstract: 
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/60671
ISBN: 
ISSN: 
ISMN: 
Other Identifiers: RU\НТБ СГАУ\580709
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-2228-5_2025-315.pdf410.19 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.