1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМушанкова К. А.ru
dc.contributor.authorСтепанова Л. В.ru
dc.date.accessioned2025-12-18T07:35:47Z-
dc.date.available2025-12-18T07:35:47Z-
dc.date.issued2025ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\580709ru
dc.identifier.citationМушанкова, К. А. Молекулярно-динамическое моделирование круговых монокристаллических пластин на кремниевой подложке / К. А. Мушанкова, Л. В. Степанова // XVIII Королевские чтения : материалы всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 80-й годовщине Победы в Великой Отеч. войне, 7–9 окт. 2025 г.: в 2 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; орг. ком.: Д. Е. Пашков (предс.), О. А. Кузин, А. Г. Безверхов [и др.]. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2025. - Т. 1. - С. 315.ru
dc.identifier.isbnru
dc.identifier.issnru
dc.identifier.ismnru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/60671-
dc.identifier.npsru
dc.identifier.orcidru
dc.description.abstractru
dc.description.firstpage315ru
dc.format.extentru
dc.format.mimetypeTextru
dc.language.isorusru
dc.publisherPublisherru
dc.relation.ispartofXVIII Королевские чтения : материалы всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 80-й годовщине Победы в Великой Отеч. войне, 7–9 окт.ru
dc.rightsLicenseru
dc.sourceSourceru
dc.textpartВизуализация результатов в обоих случаях выполняется при использовании программы OVITO. В ходе МД моделирования построена последовательность атомистических моделей кремневых и алюминиевых элементов с характерными размерами по толщине 10-100 нм (до нескольких сотен периодов кристаллической решет...-
dc.subjectMEMS-устройстваru
dc.subjectкремниевые подложкиru
dc.subjectматематические моделиru
dc.subjectмикроэлектроникаru
dc.subjectмолекулярная динамикаru
dc.subjectмолекулярно-динамическое моделированиеru
dc.subjectмонокристаллические пластиныru
dc.subjectориентация кристаллографических осейru
dc.subjectоценка краевых эффектовru
dc.subject.rubbkru
dc.subject.rugasntiru
dc.subject.udcru
dc.titleМолекулярно-динамическое моделирование круговых монокристаллических пластин на кремниевой подложкеru
dc.title.alternativeru
dc.typeType Textru
dc.citation.volume1ru
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-2228-5_2025-315.pdf410.19 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.