Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Влияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разряда |
| Authors: | Паранин В. Д. |
| Keywords: | материал подложки нелинейность теплофизических характеристик обработка газоразрядной плазмой равномерность обработки температура рабочих поверхностей |
| Issue Date: | 2009 |
| Citation: | Паранин, В. Д. Влияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разряда / В. Д. Паранин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 212-217. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5925 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-7883-0672-8_2009-212-217.pdf | 290.82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.