1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПаранин В. Д.
dc.coverage.spatialматериал подложки
dc.coverage.spatialнелинейность теплофизических характеристик
dc.coverage.spatialобработка газоразрядной плазмой
dc.coverage.spatialравномерность обработки
dc.coverage.spatialтемпература рабочих поверхностей
dc.creatorПаранин В. Д.
dc.date2009
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:58Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:58Z-
dc.date.issued2009
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\559423
dc.identifier.citationПаранин, В. Д. Влияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разряда / В. Д. Паранин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 212-217.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5925-
dc.languagerus
dc.relation.ispartofАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. - Текст : электронный
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций. - [Ч. 1]
dc.subjectматериал подложки
dc.subjectнелинейность теплофизических характеристик
dc.subjectобработка газоразрядной плазмой
dc.subjectравномерность обработки
dc.subjectтемпература рабочих поверхностей
dc.titleВлияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разряда
dc.typeText
dc.citation.epage217
dc.citation.spage212
local.contributor.authorПаранин В. Д.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Vliyanie-nelineinosti-teplofizicheskih-harakteristik-materiala-na-temperaturu-rabochei-poverhnosti-podlozhki-pri-obrabotke-v-plazme-otkrytogo-razryada-110729
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Vliyanie-nelineinosti-teplofizicheskih-harakteristik-materiala-na-temperaturu-rabochei-poverhnosti-podlozhki-pri-obrabotke-v-plazme-otkrytogo-razryada-110729
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0672-8_2009-212-217.pdf290.82 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.