1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Технология изготовления тонкопленочных резисторов
Authors: Спирин В. Г.
Keywords: гребенчатые резисторы
гребенчатые электроды
двойная фотолитография
последовательность операций травления
способы изготовления
тонкопленочные резисторы
Issue Date: 2009
Citation: Спирин, В. Г. Технология изготовления тонкопленочных резисторов / В. Г. Спирин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 97-100.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5914
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0672-8_2009-97-100.pdf202.6 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.