1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСпирин В. Г.
dc.coverage.spatialгребенчатые резисторы
dc.coverage.spatialгребенчатые электроды
dc.coverage.spatialдвойная фотолитография
dc.coverage.spatialпоследовательность операций травления
dc.coverage.spatialспособы изготовления
dc.coverage.spatialтонкопленочные резисторы
dc.creatorСпирин В. Г.
dc.date2009
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:38Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:38Z-
dc.date.issued2009
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\559321
dc.identifier.citationСпирин, В. Г. Технология изготовления тонкопленочных резисторов / В. Г. Спирин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 97-100.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5914-
dc.languagerus
dc.relation.ispartofАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. - Текст : электронный
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций. - [Ч. 1]
dc.subjectгребенчатые резисторы
dc.subjectгребенчатые электроды
dc.subjectдвойная фотолитография
dc.subjectпоследовательность операций травления
dc.subjectспособы изготовления
dc.subjectтонкопленочные резисторы
dc.titleТехнология изготовления тонкопленочных резисторов
dc.typeText
dc.citation.epage100
dc.citation.spage97
local.contributor.authorСпирин В. Г.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Tehnologiya-izgotovleniya-tonkoplenochnyh-rezistorov-110700
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Tehnologiya-izgotovleniya-tonkoplenochnyh-rezistorov-110700
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0672-8_2009-97-100.pdf202.6 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.