Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 04. Материалы конференций
3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Title:	Анализ достоверности метода оценки чистоты поверхности твердых тел, бомбардируемой отрицательными частицами внеэлектродного газового разряда
Authors:	Колпаков В. А. Колпаков А. И. Кричевский С. В.
Keywords:	диоксид кремния интегральные микросхемы метод оценки чистоты поверхности органические загрязнения подложек плазма внеэлектродного газового разряда плазменная финишная очистка
Issue Date:	2009
Citation:	Колпаков, В. А. Анализ достоверности метода оценки чистоты поверхности твердых тел, бомбардируемой отрицательными частицами внеэлектродного газового разряда / В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 165-170.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5904
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.