1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКолпаков В. А.
dc.contributor.authorКолпаков А. И.
dc.contributor.authorКричевский С. В.
dc.coverage.spatialдиоксид кремния
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемы
dc.coverage.spatialметод оценки чистоты поверхности
dc.coverage.spatialорганические загрязнения подложек
dc.coverage.spatialплазма внеэлектродного газового разряда
dc.coverage.spatialплазменная финишная очистка
dc.creatorКолпаков В. А., Колпаков А. И., Кричевский С. В.
dc.date2009
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:37Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:37Z-
dc.date.issued2009
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\559380
dc.identifier.citationКолпаков, В. А. Анализ достоверности метода оценки чистоты поверхности твердых тел, бомбардируемой отрицательными частицами внеэлектродного газового разряда / В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 165-170.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5904-
dc.languagerus
dc.relation.ispartofАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. - Текст : электронный
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций. - [Ч. 1]
dc.subjectдиоксид кремния
dc.subjectинтегральные микросхемы
dc.subjectметод оценки чистоты поверхности
dc.subjectорганические загрязнения подложек
dc.subjectплазма внеэлектродного газового разряда
dc.subjectплазменная финишная очистка
dc.titleАнализ достоверности метода оценки чистоты поверхности твердых тел, бомбардируемой отрицательными частицами внеэлектродного газового разряда
dc.typeText
dc.citation.epage170
dc.citation.spage165
local.contributor.authorКолпаков В. А.
local.contributor.authorКолпаков А. И.
local.contributor.authorКричевский С. В.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Analiz-dostovernosti-metoda-ocenki-chistoty-poverhnosti-tverdyh-tel-bombardiruemoi-otricatelnymi-chasticami-vneelektrodnogo-gazovogo-razryada-110732
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Analiz-dostovernosti-metoda-ocenki-chistoty-poverhnosti-tverdyh-tel-bombardiruemoi-otricatelnymi-chasticami-vneelektrodnogo-gazovogo-razryada-110732
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0672-8_2009-165-170.pdf318.23 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.