1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Исследование параметров тонкопленочных резистивных элементов
Authors: Воеводина П. А.
Советкина М. А.
Keywords: тонкопленочные резистивные элементы
тонкопленочные технологии
поверхностные дефекты
сравнительный анализ
растровая электронная микроскопия
интерферометры белого света
магнетронное распыление
контроль параметров
Issue Date: 2024
Citation: Воеводина, П. А. Исследование параметров тонкопленочных резистивных элементов / П. А. Воеводина, М. А. Советкина // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 283-285.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5873
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903943-20-3_2024-283-285.pdf464.15 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.