Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВоеводина П. А.
dc.contributor.authorСоветкина М. А.
dc.coverage.spatialтонкопленочные резистивные элементы
dc.coverage.spatialтонкопленочные технологии
dc.coverage.spatialповерхностные дефекты
dc.coverage.spatialсравнительный анализ
dc.coverage.spatialрастровая электронная микроскопия
dc.coverage.spatialинтерферометры белого света
dc.coverage.spatialмагнетронное распыление
dc.coverage.spatialконтроль параметров
dc.creatorВоеводина П. А., Советкина М. А.
dc.date2024
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:35Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:35Z-
dc.date.issued2024
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\554817
dc.identifier.citationВоеводина, П. А. Исследование параметров тонкопленочных резистивных элементов / П. А. Воеводина, М. А. Советкина // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 283-285.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5873-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.). - Текст : электронный
dc.subjectтонкопленочные резистивные элементы
dc.subjectтонкопленочные технологии
dc.subjectповерхностные дефекты
dc.subjectсравнительный анализ
dc.subjectрастровая электронная микроскопия
dc.subjectинтерферометры белого света
dc.subjectмагнетронное распыление
dc.subjectконтроль параметров
dc.titleИсследование параметров тонкопленочных резистивных элементов
dc.typeText
dc.citation.epage285
dc.citation.spage283
local.contributor.authorВоеводина П. А.
local.contributor.authorСоветкина М. А.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-parametrov-tonkoplenochnyh-rezistivnyh-elementov-109754
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903943-20-3_2024-283-285.pdf464.15 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.