Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Воеводина П. А. | |
| dc.contributor.author | Советкина М. А. | |
| dc.coverage.spatial | тонкопленочные резистивные элементы | |
| dc.coverage.spatial | тонкопленочные технологии | |
| dc.coverage.spatial | поверхностные дефекты | |
| dc.coverage.spatial | сравнительный анализ | |
| dc.coverage.spatial | растровая электронная микроскопия | |
| dc.coverage.spatial | интерферометры белого света | |
| dc.coverage.spatial | магнетронное распыление | |
| dc.coverage.spatial | контроль параметров | |
| dc.creator | Воеводина П. А., Советкина М. А. | |
| dc.date | 2024 | |
| dc.date.accessioned | 2025-08-22T12:09:35Z | - |
| dc.date.available | 2025-08-22T12:09:35Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.identifier | RU\НТБ СГАУ\554817 | |
| dc.identifier.citation | Воеводина, П. А. Исследование параметров тонкопленочных резистивных элементов / П. А. Воеводина, М. А. Советкина // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 283-285. | |
| dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5873 | - |
| dc.language | rus | |
| dc.source | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.). - Текст : электронный | |
| dc.subject | тонкопленочные резистивные элементы | |
| dc.subject | тонкопленочные технологии | |
| dc.subject | поверхностные дефекты | |
| dc.subject | сравнительный анализ | |
| dc.subject | растровая электронная микроскопия | |
| dc.subject | интерферометры белого света | |
| dc.subject | магнетронное распыление | |
| dc.subject | контроль параметров | |
| dc.title | Исследование параметров тонкопленочных резистивных элементов | |
| dc.type | Text | |
| dc.citation.epage | 285 | |
| dc.citation.spage | 283 | |
| local.contributor.author | Воеводина П. А. | |
| local.contributor.author | Советкина М. А. | |
| local.identifier.olduri | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-parametrov-tonkoplenochnyh-rezistivnyh-elementov-109754 | |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций | |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-903943-20-3_2024-283-285.pdf | 464.15 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.