1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления
Authors: Курганская Л. В.
Рябенкова О. В.
Щербак А. В.
Keywords: эллипсометрия
оптические параметры
спектры отражения
метод нормального отражения
метод магнетронного распыления
материалы электронной техники
карбид кремния
Issue Date: 2024
Citation: Курганская, Л. В. Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления / Л. В. Курганская, О. В. Рябенкова, А. В. Щербак // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 270-271.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5867
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903943-20-3_2024-270-271.pdf185.04 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.