1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКурганская Л. В.
dc.contributor.authorРябенкова О. В.
dc.contributor.authorЩербак А. В.
dc.coverage.spatialэллипсометрия
dc.coverage.spatialоптические параметры
dc.coverage.spatialспектры отражения
dc.coverage.spatialметод нормального отражения
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыления
dc.coverage.spatialматериалы электронной техники
dc.coverage.spatialкарбид кремния
dc.creatorКурганская Л. В., Рябенкова О. В., Щербак А. В.
dc.date2024
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:33Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:33Z-
dc.date.issued2024
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\554786
dc.identifier.citationКурганская, Л. В. Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления / Л. В. Курганская, О. В. Рябенкова, А. В. Щербак // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 270-271.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5867-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.). - Текст : электронный
dc.subjectэллипсометрия
dc.subjectоптические параметры
dc.subjectспектры отражения
dc.subjectметод нормального отражения
dc.subjectметод магнетронного распыления
dc.subjectматериалы электронной техники
dc.subjectкарбид кремния
dc.titleОптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления
dc.typeText
dc.citation.epage271
dc.citation.spage270
local.contributor.authorКурганская Л. В.
local.contributor.authorРябенкова О. В.
local.contributor.authorЩербак А. В.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Opticheskie-svoistva-struktur-karbida-kremniya-na-polikore-poluchaemyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-109748
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903943-20-3_2024-270-271.pdf185.04 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.