| Title: | Физико-технические основы устройств микроэлектроники |
| Authors: | Еремина И. Н. Саноян А. Г. |
| Keywords: | контактные явления макроскопические системы методы статистической физики микротехнологии нанотехнологии поверхностные явления показатели качества твердотельные структуры устройства микроэлектроники энтропийные методы |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | [Изд-во СГАУ] |
| Citation: | Еремина, И. Н. Физико-технические основы устройств микроэлектроники [Электронный ресурс] : [учеб.- метод. пособие] / И. Н. Еремина, А. Г. Саноян ; Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева. - Самара : [Изд-во СГАУ], 2008. - on-line. - ISBN = 978-5-7883-0662-9 |
| Abstract: | Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) Используемые программы: Adobe Acrobat |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/58584 |
| ISBN: | 978-5-7883-0662-9 |
| Appears in Collections: | Учебные издания |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Еремина И.Н. Физико-технические.pdf | from 1C | 21.19 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.