Физико-технические основы устройств микроэлектроники

Еремина И. Н.; Саноян А. Г.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Еремина И. Н.
dc.contributor.author	Саноян А. Г.
dc.coverage.spatial	нанотехнологии
dc.coverage.spatial	макроскопические системы
dc.coverage.spatial	микротехнологии
dc.coverage.spatial	твердотельные структуры
dc.coverage.spatial	контактные явления
dc.coverage.spatial	методы статистической физики
dc.coverage.spatial	устройства микроэлектроники
dc.coverage.spatial	поверхностные явления
dc.coverage.spatial	показатели качества
dc.coverage.spatial	энтропийные методы
dc.creator	Еремина И. Н., Саноян А. Г.
dc.date	2008
dc.date.accessioned	2025-11-28T05:59:21Z	-
dc.date.available	2025-11-28T05:59:21Z	-
dc.date.issued	2008
dc.identifier.identifier	RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/Е 702-121965
dc.identifier.citation	Еремина, И. Н. Физико-технические основы устройств микроэлектроники [Электронный ресурс] : [учеб.- метод. пособие] / И. Н. Еремина, А. Г. Саноян ; Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева. - Самара : [Изд-во СГАУ], 2008. - on-line. - ISBN = 978-5-7883-0662-9
dc.identifier.isbn	978-5-7883-0662-9
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/58584	-
dc.description.abstract	Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
dc.description.abstract	Используемые программы: Adobe Acrobat
dc.language	rus
dc.publisher	[Изд-во СГАУ]
dc.relation.isformatof	Физико-технические основы устройств микроэлектроники [Текст] : [учеб.- метод. пособие]
dc.subject	контактные явления
dc.subject	макроскопические системы
dc.subject	методы статистической физики
dc.subject	микротехнологии
dc.subject	нанотехнологии
dc.subject	поверхностные явления
dc.subject	показатели качества
dc.subject	твердотельные структуры
dc.subject	устройства микроэлектроники
dc.subject	энтропийные методы
dc.subject.rugasnti	47.01.33
dc.subject.udc	СГАУ:6(075)
dc.subject.udc	621.382.049.77(075)
dc.title	Физико-технические основы устройств микроэлектроники
dc.type	Text
local.contributor.author	Федеральное агентство по образованию
local.contributor.author	Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Uchebnye-posobiya/Fizikotehnicheskie-osnovy-ustroistv-mikroelektroniki-Elektronnyi-resurs-ucheb-metod-posobie-55175
Appears in Collections:	Учебные издания

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Еремина И.Н. Физико-технические.pdf	from 1C	21.19 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record