Title: Физико-технические основы устройств микроэлектроники
Authors: Еремина И. Н.
Саноян А. Г.
Keywords: контактные явления
макроскопические системы
методы статистической физики
микротехнологии
нанотехнологии
поверхностные явления
показатели качества
твердотельные структуры
устройства микроэлектроники
энтропийные методы
Issue Date: 2008
Publisher: [Изд-во СГАУ]
Citation: Еремина, И. Н. Физико-технические основы устройств микроэлектроники [Электронный ресурс] : [учеб.- метод. пособие] / И. Н. Еремина, А. Г. Саноян ; Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева. - Самара : [Изд-во СГАУ], 2008. - on-line. - ISBN = 978-5-7883-0662-9
Abstract: Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
Используемые программы: Adobe Acrobat
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/58584
ISBN: 978-5-7883-0662-9
Appears in Collections:Учебные издания

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Еремина И.Н. Физико-технические.pdffrom 1C21.19 MBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.